80% WTi
1. Цільове обслуговування
Щоб уникнути коротких замикань і дуги, спричинених неочищеними порожнинами під час процесу напилення, необхідно періодично видаляти розпилену речовину, накопичену в середині та з обох боків доріжки напилення. Це також допомагає користувачам безперервно працювати з високою щільністю потужності. Виконати напилення.
2. Цільове зберігання
Ми рекомендуємо користувачам зберігати мішені (металеві чи керамічні) у вакуумній упаковці. Зокрема, мішені для ламінування повинні зберігатися в умовах вакууму, щоб запобігти окисленню шару ламінування від впливу на якість ламінування. Що стосується упаковки металевих мішеней, ми рекомендуємо упаковувати їх принаймні в чисті поліетиленові пакети.
Постачальник мішеней для напилення з 80% вольфраму
3. Цільове очищення
Першим кроком є очищення м’якою тканиною без ворсу, змоченою в ацетоні;
Другий крок подібний до першого, для очищення використовуйте спирт;
Третій крок — очищення деіонізованою водою. Після очищення деіонізованою водою мішень помістили в духовку для висихання при 100 градусах Цельсія на 30 хвилин. Для чищення оксидних і керамічних мішеней рекомендується використовувати «безворсову тканину».
Четвертий крок полягає в промиванні мішені газоподібним аргоном під високим тиском і низькою вологістю, щоб видалити будь-які забруднені частинки, які можуть спричинити утворення дуги в системі розпилення.
4. Перевірка короткого замикання та герметичності
Після встановлення мішені необхідно перевірити весь катод на наявність короткого замикання та герметичності. Щоб визначити, чи немає замикання на катоді, рекомендується використовувати вимірювач опору. Переконавшись, що в катоді немає короткого замикання, ви можете виконати перевірку витоку води та пропустити воду в катод, щоб визначити, чи є витік води.
Виробництво мішеней з напиленням на 80% вольфраму
5. Упаковка і транспортування
Усі мішені упаковані у вакуумні пластикові пакети з вологозахисним засобом. Зовнішня упаковка, як правило, являє собою дерев’яну коробку з антиколізійним шаром навколо неї для захисту мішені та опорної пластини від пошкодження під час транспортування та зберігання.
